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  2. DA401A 超高精度固晶机

      产品特色

    • DA401A 超高精度固晶机

      高精度:精度 : ±3μm @3sigma, 角度: ±0.3deg@3sigma;

      单头3个6吋晶圆环,兼容类似尺寸的AB Die;

      高自动化:全自动上下料传输系统,自动玻璃片循环取放测试功能(BMC)等;

      高防错功能:Postbond取放精度测试和错误报警,支持点胶,胶量检测和报警功能。
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